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Laurell WS-650Mz-23NPPB勻膠旋涂儀回放

2023-05-06 11:20:511391
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Laurell 650勻膠機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn):

美國Laurell WS-650Mz-23NPPB 勻膠旋涂儀 采用NPP外殼材質(zhì),PLC控制,速度可調(diào)節(jié),在啟動之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開,然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn),步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);


Laurell 650勻膠機(jī) WS-650Mz-23NPPB 技術(shù)參數(shù):
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑圓片,方片125x125mm;
3、轉(zhuǎn)動速度:100-12,000rpm,
4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空載);
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差<± 1 %;
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:1rpm,重復(fù)性1rpm;
7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
9、設(shè)備控制器:PLC控制,按鍵式操作。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、高認(rèn)證:美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證;
12、配套真空泵系統(tǒng):無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;

13、售后服務(wù):提供上門現(xiàn)場 或 遠(yuǎn)程在線 安裝培訓(xùn),用戶可靈活選擇;

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